Chotest Laser Interferometer Measurement System SJ6000

Технически данни и информация

Параметри на системата:
1. Метод на измерване: единична честота
2. Точност на лазерната честота: 0.05ppm
3. Динамична скорост на заснемане: 50kHz
4. Време за загряване: около 6 min
5. Работна температура: (0-40)℃
6. Температура на околната среда: (0-40)℃, влажност: 0-95%
7. Температура на съхранение: -20℃-70℃
Сензори за околната среда:
1. Сензор за атмосферна температура : ±0.1℃ (0-40)℃, резолюция: 0.01℃
2. Сензор за температура на материал: ±0.1℃ (0-40)℃, резолюция: 0.01℃
3. Сензор за атмосферна влажност: ±5% (0-95%)
4. Сензор за атмосферно налягане: ±0.1kPa (65～115)kPa
Линейно измерване:
1. Обхват на измерване: (0-80)m
2. Точност на измерване: 0.5ppm (0-40)℃
3. Резолюция на измерване: 1nm
4. Максимална скорост на измерване: 4m/s
Измерване на ъгли:
1. Аксиален обхват: (0-15)m
2. Обхват на измерване: ±10°
3. Точност: ±(0.02%R+0.1+0.24M)″ (R показва стойност, единица ″; M е измерената дължина в m)
4. Резолюция на измерване: 0.1″
Измерване на плоскост:
1. Аксиален обхват: (0-15) m
2. Обхват на измерване на плоскостта: ±1.5 mm
3. Точност: ±(0.2%R+0.02M²) μm (R показва стойност в μm; M е измерената дължина в m)
4. Размер на основата: 180mm регулируем, 360mm регулируем
5. Резолюция на измерване: 0.1μm
Измерване на праволинейност:
Елемент	Аксиален обхват	Обхват на измерване	Точност	Резолюция
Къса праволинейност	(0.1-4)m	±3.0mm	±(0.5+0.25%R+0.15M²)μm	0.01μm
Дълга праволинейност	(1-20)m	±3.0mm	±(5.0+2.5%R+0.015M²)μm	0.1μm
Забележка: R показва стойност в μm; M е измерената дължина в m
Измерване на перпендикулярност:
Елемент	Аксиален обхват	Обхват на измерване	Точност	Резолюция
Къса перпендикулярност	(0.1-3)m	±3.0mm	±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m	0.01μm
Дълга перпендикулярност	(1-15)m	±3.0mm	±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m	0.01μm
Забележка: R показва стойност в μm; M е измерената дължина в m
Измерване на ротационна ос:
1. Обхват на измерване на ъгъла: 0-360°
2. Максимална скорост на въртене на оста: 10rpm
3. Точност на стъпката на прецизна ротационна маса: ±1″
4. Резолюция: 0.1″

Описание на продукта

Лазерният интерферометър е признат за високопрецизен, високочувствителен метод за измерване чрез прилагане на дължината на светлинната вълна като критерий и се използва широко в областта на високотехнологичното производство. SJ6000 се състои от високочестотен хелий-неонов лазерен генератор от доставчик от САЩ, високопрецизни екологични компенсационни модули, високопрецизна система за обработка на лазерни интерферентни сигнали, високопроизводителна компютърна система за управление. Чрез прилагане на технологията за стабилизиране на топлинната честота на лазера с двоен надлъжен режим и проектиране на оптичния път на интерференция с геометрични параметри, SJ6000 може да извежда дългосрочно стабилен и високоточен (0,05 ppm) лазер бързо (около 6 минути), който има мощни антиинтерферентни характеристики. С различни призматични модули той може да измерва линейност, ъгъл, праволинейност, плоскост и перпендикулярност, като освен това може да анализира динамични характеристики. SJ6000 има много предимства, като висока точност, висока скорост, висока разделителна способност, голям обхват.