| Параметри на системата: |
| 1. Метод на измерване: единична честота |
| 2. Точност на лазерната честота: 0.05ppm |
| 3. Динамична скорост на заснемане: 50kHz |
| 4. Време за загряване: около 6 min |
| 5. Работна температура: (0-40)℃ |
| 6. Температура на околната среда: (0-40)℃, влажност: 0-95% |
| 7. Температура на съхранение: -20℃-70℃ |
| Сензори за околната среда: |
| 1. Сензор за атмосферна температура : ±0.1℃ (0-40)℃, резолюция: 0.01℃ |
| 2. Сензор за температура на материал: ±0.1℃ (0-40)℃, резолюция: 0.01℃ |
| 3. Сензор за атмосферна влажност: ±5% (0-95%) |
| 4. Сензор за атмосферно налягане: ±0.1kPa (65~115)kPa |
| Линейно измерване: |
| 1. Обхват на измерване: (0-80)m |
| 2. Точност на измерване: 0.5ppm (0-40)℃ |
| 3. Резолюция на измерване: 1nm |
| 4. Максимална скорост на измерване: 4m/s |
| Измерване на ъгли: |
| 1. Аксиален обхват: (0-15)m |
| 2. Обхват на измерване: ±10° |
| 3. Точност: ±(0.02%R+0.1+0.24M)″ (R показва стойност, единица ″; M е измерената дължина в m) |
| 4. Резолюция на измерване: 0.1″ |
| Измерване на плоскост: |
| 1. Аксиален обхват: (0-15) m |
| 2. Обхват на измерване на плоскостта: ±1.5 mm |
| 3. Точност: ±(0.2%R+0.02M2) μm (R показва стойност в μm; M е измерената дължина в m) |
| 4. Размер на основата: 180mm регулируем, 360mm регулируем |
| 5. Резолюция на измерване: 0.1μm |
| Измерване на праволинейност: |
| Елемент |
Аксиален обхват |
Обхват на измерване |
Точност |
Резолюция |
| Къса праволинейност |
(0.1-4)m |
±3.0mm |
±(0.5+0.25%R+0.15M2)μm |
0.01μm |
| Дълга праволинейност |
(1-20)m |
±3.0mm |
±(5.0+2.5%R+0.015M2)μm |
0.1μm |
| Забележка: R показва стойност в μm; M е измерената дължина в m |
| Измерване на перпендикулярност: |
| Елемент |
Аксиален обхват |
Обхват на измерване |
Точност |
Резолюция |
| Къса перпендикулярност |
(0.1-3)m |
±3.0mm |
±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m |
0.01μm |
| Дълга перпендикулярност |
(1-15)m |
±3.0mm |
±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
0.01μm |
| Забележка: R показва стойност в μm; M е измерената дължина в m |
| Измерване на ротационна ос: |
| 1. Обхват на измерване на ъгъла: 0-360° |
| 2. Максимална скорост на въртене на оста: 10rpm |
| 3. Точност на стъпката на прецизна ротационна маса: ±1″ |
| 4. Резолюция: 0.1″ |