| Модел № |
VX3500 |
| Сензор за изображения |
5M CMOS |
| Екран |
24" LCD (XGA:1024×768) |
| Обектив |
Телецентричен "object-space" обектив |
| Осветяване |
Пръстен |
Четирисегментно осветление (бяла светлина / зелена светлина) |
| Основа |
Телецентрично трансмисионно осветяване (зелена светлина) |
| Поле на видимост |
Широко поле |
500 mm × 400 mm (4 Angle R50) |
| Висока точност |
430 mm × 430 mm |
| Резолюция |
0.1 um |
| Повторяемост на измерването |
Широко поле |
Без шев*1 |
±1 um |
| С шев*2 |
±2 um |
| Висока точност |
Без шев*1 |
±0.5 um |
| С шев*2 |
±1.5 um |
| Точност на измерването |
Широко поле |
Без шев*1 |
±5 um |
| С шев*2 |
±(6+0.005L) μm |
| Висока точност |
Без шев*1 |
±2 um |
| С шев*2 |
±(3+0.005L) μm |
| Хоризонтален ротационен модул (по избор) |
Ъгъл на завъртане |
Обхват 360°, Резолюция 0.01° |
| Скорост на завъртане |
0.2~2 rev/s |
| Максимален диаметър |
∅60 mm |
|
Измерване на височината (оптична сонда) (по избор)
|
Обхват на измерване (XY) |
300 mm × 300 mm |
| Макс. съотношение отвор-дълбочина (h/φ) |
1.5 |
| Диаметър на лъча |
∅38 μm |
| Резолюция |
0.25 μm |
| Неподвижен Z |
Обхват (Z) |
±3.5 mm |
| Точност |
±2 μm |
| Z при движение |
Обхват (Z) |
70 mm |
| Точност |
±(6+0.01H) μm, H е Z височина на преместване в mm |
| Софтуер |
VisionX |
| XY обектна маса |
X обхват на движение |
410 mm (моторизиран) |
| Y обхват на движение |
310 mm (моторизиран) |
| Товароносимост |
20 kg |
| Обхват на движение на ос Z |
200 mm (моторизиран) |
| Размери (ДxШxВ) |
(900×1340×1600) mm |
| Структурна рамка |
Мрамор |
| Тегло |
950 kg |
| Вход |
AC 200~240 V / 50~60 Hz |
| Работна среда |
Температура 10℃~35℃, влажност 30%~80%, вибрации < 0.002 g, по-малко от 15 Hz |